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罗茨螺杆真空机组,是以罗茨真空泵为主泵,螺杆真空泵为前级泵的抽气系统,此机组过流部分没有任何液体作工作液,极限压力不受水温影响,对被抽工艺气体不产生二次污染,便于排出气体的回收
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